KLA-Tencor  AlphaStep轮廓仪配置自动台，采用了新型光学反射探测系统来测量高度，同时应用电磁力控制探针压力，能有效的实现超微力和低惯量 。这些创新型使表面轮廓仪能够无伤测量软薄膜样品。

1. 样品台直径：200 mm

2.扫描长度范围：30 mm

3. 分辨率：横向100 nm，垂直0.38 埃

4. 垂直测量范围：10 埃至1.2 mm

发展系列探针轮廓仪是一台计算机控制的高灵敏的表面轮廓仪，可测量台阶高度，粗糙度和波纹度，及许多其他应用。