台阶仪
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碳纳米笼
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技术特点
KLA-Tencor AlphaStep轮廓仪配置自动台,采用了新型光学反射探测系统来测量高度,同时应用电磁力控制探针压力,能有效的实现超微力和低惯量 。这些创新型使表面轮廓仪能够无伤测量软薄膜样品。
系统参数
1. 样品台直径:200 mm
2.扫描长度范围:30 mm
3. 分辨率:横向100 nm,垂直0.38 埃
4. 垂直测量范围:10 埃至1.2 mm
产品应用
发展系列探针轮廓仪是一台计算机控制的高灵敏的表面轮廓仪,可测量台阶高度,粗糙度和波纹度,及许多其他应用。
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