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Keysight B1500A 半导体器件分析仪是一款真正意义上的参数分析仪 · Keysight B1500A 半导体器件分析仪（半导体参数分析仪/半导体表征系统）是器件表征的综合解决方案。 · 支持基本的电流-电压（IV）和电容-电压（CV）测量以及业界领先的快速脉冲 IV/ 快速 IV / 瞬时 IV 测量，具备极高的测量可靠性 · 嵌入式 Windows 7 和功能强大的 EasyEXPERT 软件借助先进的图形用户界面（GUI），可让您执行高效、深入、数据可恢复的器件表征。 · 这款最佳表征解决方案可对器件、材料、半导体、有源/无源元件以及任意电气器件进行各种电气表征和评测。 · 根据您的测试需求，模块化结构可升级至 10 插槽配置。 卓越的测量能力和极高的测量可靠性
Keysight B1500A 针对基础和高级器件表征提供以下功能。
测量功能 | 主要技术指标/特性 | 测量模块 | 电流/电压（IV）测量 | · 电源和测量范围高达 200 V/1 A · 最低测量分辨率为 0.1 fA / 0.5 ?V · 针对基础和高级 IV 测量提供点测量、扫描测量等功能 | B1511B /B1511B /B1511B SMU（电源/测量单元） | 准静态 CV（QS-CV） | · 精确的准静态电容-电压（QS-CV）测量，具有泄露电流补偿 | 采样测量 | · 采样（时域）测量间隔为 100 ?s | B1510A/B1511A/B1517A SMU（电源/测量单元） | 脉冲测量 | 低至 500 ?s | · 在 500 ?s 脉宽、2 μs 分辨率的条件下执行脉冲测量 | 低至 100 ns | · 适用于脉冲 IV 和瞬时 IV 的超快速 IV 测量功能，例如 NBTI/PBTI、RTN（随机电报信号噪声）等 · 脉冲测量，脉宽为 50 μs · 电源和测量范围高达 30 V / 1 A（0.1 A 直流） · 支持示波器视图 · 利用 10 ns 编程分辨率生成波形 · 同时执行高速 IV 测量（200 MSa/s，采样率为 5 ns） · 10V 峰峰值输出 · 利用动态 SMU 技术，负载线不会影响脉冲 IV 测量的精度 | B1514A 50 ?s 脉冲 MCSMU
（中等电流电源/测量单元）
| 低至 10 ns | · 适用于 高 k/SOI 脉冲 IV 的表征解决方案 · 选通脉冲宽度是 10 ns 至 1 ?s，上升和下降时间最小值为 2 ns | B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案 | 脉冲生成 | · 高压输出可达 ±40 V，适用于非易失存储器测试 · 为单通道提供二电平和三电平脉冲 · 利用 10 ns 分辨率灵活地生成任意波形（任意线性波形生成功能） · 每个模块具有两个通道 | B1525A HV-SPGU（高电压半导体脉冲发生器单元） | 交流阻抗（CV）测量 | · 交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t） · 频率范围 1 kHz 至 5 MHz · SMU 提供 25 V 内置直流偏置和 100 V 直流偏置 · SCUU 能够快捷、精确地改变 IV 和 CV 自动连接 | B1520A MFCMU（多频率电容测量单元） |
在研发的各个阶段中（从探测到自动化）实现高效、数据可恢复的器件表征
- EasyEXPERT 软件在嵌入式 Windows 7 中运行
- 数百种测量程序库在需要时即可使用（应用测试）
-15 英寸触摸屏支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测
- 自动数据记录特性支持测试数据和测试条件的恢复，可使您轻松地进行探测
- 利用曲线追踪（旋钮操作）和自动记录特性来实现实时交互表征 -EasyEXPERT 的曲线追踪仪测试模式通过旋钮来控制可变扫描，与传统的曲线追踪仪类似
-示波器视图能够显示施加到器件中的电压和电流波形，从而帮助用户优化测试条件、观察器件的瞬时现象
- 利用便捷的在线/离线测试环境完成测试开发与分析，从而最大限度地发挥仪器效用
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